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深圳市中圖儀器股份有限公司

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白光干涉儀性能參數(shù)

參  考  價: 960000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號:SuperViewW1

品       牌:CHOTEST/中圖儀器

廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

所  在  地:深圳市

更新時間:2024-05-13 09:52:47瀏覽次數(shù):1157次

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 能源,印刷包裝,冶金,電氣,綜合
中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀性能參數(shù)Z向分辨率:0.1nm,;Z向掃描范圍:10.3mm;XY水平位移臺:電動手動均可調(diào)節(jié),。有自動化功能:自動單區(qū)域測量,、自動多區(qū)域測量、多區(qū)域定位自動搜索測量、自動拼接測量,;防撞保護(hù):軟件設(shè)置防撞,、硬件傳感器防撞。

白光干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器,。它是以白光干涉技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),,從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器,。


中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀性能參數(shù)Z向分辨率:0.1nm;Z向掃描范圍:10.3mm,;XY水平位移臺:電動手動均可調(diào)節(jié),。有自動化功能:自動單區(qū)域測量、自動多區(qū)域測量,、多區(qū)域定位自動搜索測量,、自動拼接測量;防撞保護(hù):軟件設(shè)置防撞,、硬件傳感器防撞,。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料及制造,、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,,測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,。

50050.jpg

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動對焦,、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;

3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能,;

4)分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,;

6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。


應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度,、粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。



白光干涉儀性能參數(shù)

型號

W1

光源白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標(biāo)配:10×

選配:2.5×、5×,、20×,、50×、100×

光學(xué)ZOOM

標(biāo)配:0.5×

選配:0.375×,、0.75×,、1×

標(biāo)準(zhǔn)視場0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學(xué)ZOOM 0.5×)


XY位移平臺

尺寸
320×200㎜
移動范圍140×100㎜
負(fù)載10kg
控制方式電動
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動
形貌重復(fù)性0.1nm
粗糙度RMS重復(fù)性0.005nm
臺階測量

準(zhǔn)確度:0.3%;重復(fù)性:0.08%(1σ)

可測樣品反射率0.05%~100%
主機(jī)尺寸700×606×920㎜


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